万业凯世通携手产业链伙伴共建半导体关键零部件生态

9月6日，"零部件本土化新质生产力研讨会暨协同创新战略合作签约仪式"在上海浦东圆满举行。万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称"凯世通"）与多家产业链企业达成战略合作，签约项目涵盖微波等离子体喷枪、静电吸盘材料、真空自动化机器人、超高能射频加速器、射频电源、高精度气体流量计等多个关键零部件领域。

本次大会汇聚了国内集成电路制造领域的顶尖企业、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所、元禾璞华投资管理有限公司以及众多国内集成电路零部件企业。各方通过签订战略合作协议，将携手推进技术创新和产学研合作，促进上游零部件企业一体化发展，以解决下游用户在本土芯片制造中遇到的连续性挑战。

在产业链上下游的紧密协作下，凯世通多个关键零部件项目已取得丰硕成果。例如，微波等离子体喷枪主要应用于离子注入静电中和，相比传统的灯丝型等离子体喷枪，能够有效减少金属污染，提高芯片制造良品率。该零部件是满足以AI、HBM、传感器为代表的新兴芯片严苛制造要求的关键。经过一系列技术攻关和研发创新，凯世通已在关键技术上取得突破，产品测试性能优异，维护成本低，并已交付客户进行产线验证。

万业企业总裁兼凯世通董事长李勇军表示，凯世通提前布局，目前已基本实现国产离子注入机供应链的自主可控。

凯世通副总经理、首席技术官夏世伟介绍，凯世通正积极推进离子注入机国产化进程，秉持正向设计与协同创新理念，联合下游应用单位和上游零部件厂商紧密合作，共同开发关键零部件，有序推进国产零部件的验证工作。

元禾璞华董事总经理陈瑜表示，凯世通作为连接众多关键部件企业的桥梁，不仅有助于提升设备国产化率，还能加速半导体产业创新，增强产业安全，提升半导体新质生产力，为半导体产业协同升级和自主可控提供新的范例。